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  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)申请公布号 CN201532929U (43)申请公布日 2010.07.21 (21)申请号 CN5.3 (22)申请日 2009.11.10 (71)申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 地址 201203 上海市张江路 18 号 (72)发明人 虞勤琴;李明;齐瑞娟;杨卫明 (74)专利代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 屈蘅 (51)Int.CI 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 样品台 (57)摘要 本实用新型揭露了一种样品台,所述 样品台包括底座以及设置于所述底座上的载 物台,所述载物台的载物面与水平面具有一 个夹角。使用本实用新型所提供的样品台进 行俄歇电子能谱仪分析时可使俄歇电子直接 垂直进入能量分析器,简化了操作程序,节 约了工作时间,澳门威尼人注册送38的网站十提高了工作效率,同时能够 保证样品分析角度的一致性,提高了重复 性。 法律状态 法律状态公告日 法律状态信息 法律状态 法律状态公告日 2010-07-21 2010-07-21 2013-02-20 2013-02-20 2019-11-01 法律状态信息 授权 授权 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止 法律状态 授权 授权 专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止 权利要求说明书 样品台的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 样品台的说明书内容是....请下载后查看

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